ASML Holding N.V.China's mass production of domestic immersion DUV lithography machines poses a competitive threat to ASML's market position.
中国が独自開発した液浸深紫外線リソグラフィ装置の量産を開始したと、事情に詳しい関係者が明らかにした。2023年8月に登録資本金70億元で設立された国有企業、上海愛深納電子技術集団が、リソグラフィ新興企業の玉量生と上海微電子装備からチームを統合し、この取り組みを主導している。同装置は今年、中芯国際、華虹半導体、長鑫存儲技術などの中国主要チップメーカーに納入される見通しで、今年は約5台、2027年には約20台を生産する計画だ。この装置はさらなるテストが必要で、ASMLの競合モデルには遠く及ばないものの、導入に成功すれば、西側諸国が外国製リソグラフィ装置の輸出や保守をさらに制限した場合に、中国チップメーカーに代替調達先を提供することになる。
ASML Holding N.V.China's mass production of domestic immersion DUV lithography machines poses a competitive threat to ASML's market position.
SMIC is named as a leading recipient of the domestically produced lithography machines, providing an alternative supply source.
Hua Hong Semiconductor LimitedHua Hong Semiconductor is named as a leading recipient of the domestically produced lithography machines, providing an alternative supply source.
CXMT CorporationChangXin Memory Technologies is named as a leading recipient of the domestically produced lithography machines, providing an alternative supply source.
Semiconductor Manufacturing Intl CoSMIC is named as a leading recipient of the domestically produced lithography machines, providing an alternative supply source.