SÜSS MicroTec SE

SUSS MicroTec SEは、新製品ラインGreenTec Solutionsとその第1号システムGT200の投入により、ウェハレベル洗浄市場に参入した。同社によると、対象とするウェハ洗浄市場は約54億ユーロの獲得可能市場であり、先端パッケージング、異種統合、そしてAIおよびハイパフォーマンスコンピューティングに伴う半導体需要の拡大がその原動力となっている。GT200は、MEMS、RF、パワーデバイス、CMOS用途向けの200mm製造環境における研究開発、プロセス認定、生産に対応する設計で、同社のTurbulenStripとCrustBusterのプロセス技術を単一プラットフォームに統合している。SUSSによると、GT200は拡張可能なGreenTecプラットフォームの第1弾であり、顧客の強い関心を受けて当初計画を前倒しし、2027年に専用の300mm HVMプラットフォームで大量生産へと拡大し、続いて2028年には200mm HVMプラットフォームを投入する予定である。最高経営責任者のBurkhardt Frick氏は、今回の投入を同社のAmbition 2030戦略の実行における重要なマイルストーンと評し、フォトマスクソリューションズ担当上級副社長のYuta Nagai氏は、この製品ラインが、持続可能性とプロセス卓越性が両立する次世代の半導体製造に向けた同社のビジョンを体現するものだと述べた。